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  • MEMS微机电系统呈现特色和趋势
  • 发布时间:2013-12-21
  • 微机电系统MEMS是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。

    MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

    近年来,MEMS呈现出哪些特色和趋势呢?

    1、微型化,体现为体积小、重量轻、耗能低、惯性小等,同时带来了更短的响应时间。

    2、批量生产,由于MEMS以硅为主要材料,因此更便于利用硅微加工工艺而进行大批量生产,能够极大的降低生产成本。

    3、集成化,把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,形成复杂的微系统。集成化的MEMS会带来更高的稳定性与可靠性。

    4、多学科交叉,涉及到电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,并不断的向当前高新高科技集约。

    5、多领域应用,如汽车、消费电子、实验室、工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学等。